晶圆上的模具标记是为了区分各个晶圆，利用激光轰击晶圆，在晶圆表面上形成晶圆标记。以用于在各片晶圆之间进行区分，通过不同的晶圆标记识别不同的晶圆。标准的晶圆标记，是在晶圆表面向下形成圆形形状的凹坑，并且凹坑的边缘会由于激光能量的作用在晶圆表面形成向上的凸起。晶圆标记的监控方法，主要是通过扫描晶圆标记的波形信号，量测晶圆标记对应波形信号的峰值和谷值，从而监控激光能量大小，但是无法确定晶圆标记的形状以及光路方位是否异常。
