化学中的纯度就是含有纯物质的质量分数，一般以百分比表示。纯度是石英套管的重要指标，对理化性能和使用性能影响甚大，如失透性、高温强度、软化点、光的传导、热稳定性、化学稳定性、耐辐射性、荧光特性等；此外，用于半导体工业的石英套管，对纯度的要求更为苛刻，微量的杂质将给半导体材料的电性能和寿命以及集成度带来严重的影响。由于半导体材料的纯度要求控制在十亿分之一数量级以下，因此石英套管则应控制在百万分之一数量级以适应半导体工业的需要。
